| 是否进口：否 | 品牌：AE | 型号：CESAR 136 1310 1330 |
| 适用范围：镀膜 | 电源名称：射频电源 | 产品认证：CE |
| 加工定制：是 |
深圳市溢达兴电子有限公司
深圳市溢达兴电子有限公司成立于2002年，现有专业技术人员27人, 员工56人, 专业从事二手半导体MOCVD设备翻新、半导体电源维修、光伏逆变器、光伏电池板、光伏储能、射频等离子体电源、射频放大器和真空等离子体设备代理销售、维修及维护，公司储备了各个公司的电源设备图纸，购置了各类维修仪器设备，找问题准快，维修质量好，是中国较早的3家电源维修及半导体设备翻新公司之一，目前在深圳、东莞、上海、北京、西安都有办事处，欢迎来电咨询。 服务内容1： 销售美国AE、MKS、ENI、E&I、IFI、SMITCH-TOMCO、CPI、德国SMITCH、BONN射频电源及射频放大器,如CESAR1310/CESAR136/600W/1000W等。 服务内容2： 为半导体工厂、学校研究所、液晶面板工、触摸屏工厂、磁控溅射设备提供SMITCH、AE、MKS(ENI)、SMITCH-TOMCO、BONN、CPI、IFI、DAIHEN、AD-TEC、CIPRIAN、KYOSAN、RFPP、E and I 、AR（arworld）、empowerrf、T and C Power 、wenteq、aetechron、ciprian、等***的射频电源（RFgenerator）、直流电源、匹配器、RPS维修、销售。 服务内容3： 各类真空磁控溅射设备、等离子体清洗设备、光学镀膜设备、硅片镀膜设备、PECVD设备维修、销售，改造服务，并提供现场支持服务。 服务内容4： 各类常压或大气压LCD触摸屏等离子体清洗设备，主要机型如韩国APP ILP-500C 、日本积水SEKISUI RTX055。 公司秉承“顾客至上，锐意进取”的经营理念，坚持“客户”的原则为广大客户提供优质的服务。欢迎惠顾！ 公司名称：深圳溢达兴电子有限公司 地址： 中国广东深圳市深圳市南山区南新路苏豪名厦19B2 邮编： 518052
AE Cesar系列射频电源磁控溅射电源强大而多功能的 Cesar? 射频电源平台可提供非常稳定的射频功率输送性能，以及一个多样化的模式选择，每种模式都具有一套独特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；拥有多种用户界面和输入选择），从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。
高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现***化，从而使您的投资和制程生产力得到化的利用。一个全面而高度灵敏的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上找到，并显示在一个大的液晶显示屏上）带来了***的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本最小化。
CESAR? 136 RF GENERATOR
Specification
| Frequency | 13.560 MHz +/- 0.005% | |||||||
| Max output power | 600 W into a 50 ? load | |||||||
| Min output power | 6 W into a 50 ? load | |||||||
| Reflected power limit | 200 W | |||||||
| Delivered power into mismatch | 33% depending on the load impedance | |||||||
| Load impedance | 50 ? | |||||||
| RF connector | 50 ?, N-type, female | |||||||
| RF power regulation mode | P forward, P delivered, or DC selfbias voltage | |||||||
| Regulation (of set point) | 1.0 or 0.1% of full-rated power, whichever is greater, into a 50 ? load | |||||||
| Response time (ms) | Consult factory. | |||||||
| Turn off/decay time (ms) | Consult factory. | |||||||
| Harmonics | -50 dBc at full-rated power | |||||||
| Spurious content | -60 dBc max at full-rated power | |||||||
| Pulse mode | Yes | |||||||
| Pulse repetition frequency | 1 to 30 kHz Consult factory. | |||||||
| Pulse duty cycle | 1% to *** Consult factory. | |||||||
| Pulse RF envelope rise / fall time (ms) | Consult factory. | |||||||
| CEX operation mode | Yes | |||||||
| CEX input signal as required | 0 to +10 dbm | |||||||
| CEX output signal specifications | +3 to +10 dbm | |||||||
| CEX connector (50 ?) | BNC, female | |||||||
| Display | LCD graphic display | |||||||
Interlocks and Limits
| Reflected power | Yes |
| Overtemperature | Yes |
| Current limit | Yes |
| DC overload | Yes |
| RF power limit | Yes |
Cooling
| Cooling | Air cooling | |
| Air cooling requirement | 118 m/h3 | |
AC Power Line
| AC line voltage (1-phase) | 230 VAC (187 VAC to 253 VAC) | ||||
| AC line frequency | 50/60 Hz | ||||
| AC line current (per phase) | 4.6 A nominal line, full power | ||||
| AC input power | 1050 VA | ||||
| Overcurrent limit (per phase) | 10 A to be created by user through fuse or circuit breaker | ||||
| Efficiency line to load | 57% at full power, nominal line | ||||
| Power factor | 97% to *** at max power | ||||
| AC mains connection | IEC 320 at full power | ||||
Physical Specification
| Packaging | 19" rack cabinet | |
| Mounting | 19" rack mounting | |
| Weight | 19.5 kg (43 lb) | |
| Clearance | 60 mm (2.36") on each side for air flow into unit | |
| Dimensions | 88 mm (H) x 483 mm (W) x 500 mm (D) | |
