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TRUMPF Hüttinger

Generating waveforms. TruPlasma Bipolar Series 4000 (G2.1)

The TruPlasma Bipolar Series 4000 (G2.1) Water Cooled power supplies are ideally suited for plasma-assisted film deposition PECVD and dual cathode sputtering processes, where reliability and per formance are critical: semiconductor manufacturing, architectural glass coating and solar cell production, high-quality hard and decorative coatings, and for optical films

G2.1 – the extended version of G2 generation with highly sophisti cated fully digital arc-management ensures optimum results for film quality and deposition rate. Its compact size and comprehensive set of communication interfaces makes the TruPlasma Bipolar Series 4000 (G2.1) the ideal choice for easy tool integration at limited space conditions

Electrical Data Regulation Modes Power, Voltage, Current Efficiency > 90 % (typically) Input Line Voltage 380 ÷ 480 V ± 10 % Input Line Frequency 50 Hz / 60 Hz Arc Handling Current and voltage based criteria 40 kArc/s Arc handling rate <0.3 mJ/kW typically Ignition Up to 2000 V Output Modes (duty cycle adjustable 1 – 99 %) Bipolar pulsing Bipolar rectangular pulsing with off time Bipolar trapeze pulsing with off time Bipolar step mode Unipolar pulsing DC Pulsing Frequency 1 Hz – 100 kHz Regulation Accuracy: ± 0.5 % Repeatability: ± 0.2 %

可实现生产效率的稳定进程

***高频电源

表面的涂层或结构化的关键在于稳定和可重复的等离子体电源。采用现代电力电子技术的 TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列高频电源为此提供前提条件：得益于其稳定的输出功率与高调节精度，实现高生产效率的同时可确保结果。

高***度和可重复性

CombineLine 技术：凭借 50 欧姆的真实输出阻抗获得工艺流程功率。

不受高频电缆长度影响

无需适配电缆长度——高频范围内的创举！

坚固性和安全性

CombineLine 技术：失调情况下可靠避免反射功率影响。

效率与成本效益

高达 80 % 的能量转换率能够缩减最多 50 % 的能源成本。

无风扇的冷却设计

外界空气既不会升温也不会受到污染，因此可实现无尘室内运行。

等离子体工艺电源

通快霍廷格电子的等离子体发生器提供众多功率谱与频谱。您可在此了解我们的产品。

通过实时测量实现智能匹配

TruPlasma Match 1000 (G2/13) 系列的新款阻抗匹配器与 RF 发生器相辅相成，共同造就完整解决方案：通快 RF 系统。

TruPlasma Bipolar Series 4000 (G2.1)

深圳溢达兴电子有限公司成立于2002年，现有专业技术人员27人, 员工56人, 专业销售及维修各类线性功率放大器、模块、电磁超声检测电源、压电超声检测电源、Linear POWER Amplifier，销售和维修的品牌如SMITCH、AE、MKS(ENI)、DAIHEN、AD-TEC、CIPRIAN、KYOSAN、RFPP、AR（arworld）、empowerrf、T&C Power 、wenteq、aetechron、ciprian、ENI。

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