EDGE380R40A MKS EDGE 500R40Z 450R40A 350R40A 210R40A 150R40 400KHZ EDGE 210R40 400KHZ400KHz 2500W 供8
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| 是否进口：否 | 品牌：MKS | 型号：EDGE380R40A |
| 适用范围：镀膜 | 电源名称：射频电源 |
MKS 射频电源 EDGE30R40A 400KHz 2500W RF Generator 是一款性能稳定可靠性高的射频电源，广泛应用于半导体制程中，整体采用了紧凑设计，小巧紧凑，能够***降低客户的使用成本。MKS EDGE Series 射频电源是专为薄膜加工设备设计的可靠的固态电源，是制造现代计算机和电子设备所需的集成电路或芯片的半导体制程的重要部件，具有***的成膜能力，能够快速成膜，对射频输出进行精密控制，提高产线效率。
MKS 射频电源 EDGE30R40A 400KHz 2500W 参数规格
设备品牌：MKS
设备型号：EDGE30R40A
AC 电源输入：3 phase~，200~208V，50/60Hz，1***
RF 射频输出：2500W，400KHz
通信接口：AUX，CEX，RS-232C，ETHERNET，GIGABIT
设备散热：水冷散热
水冷进水需求：MIN水流流量1Gal/min，MAX水流压力 80PSI
设备重量：13kg，29lbs
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