| 加工定制：是 | 品牌：SMITCH | 型号：SMITCH GR1310 |
| 产品认证：CE |
SMITCH射频电源&匹配器
■ RF Power GR1310 Features
1)采用***的ARM及FPGA逻辑芯片和的A/D转换芯片去闭环控制射频输出功率，使该产品具有***稳定的功率输出，减少了由等离子体阻抗变化引起的增益波动。
2)直观快捷简单的面板操作，有主/从电源设置，各种问题诊断说明，超大的LCD显示屏提供多种外接用户端口供客户选择，包含RS232、PROFIBUS、25针模拟用户端口。
3)与匹配器进行接口通讯控制，直观的显示实时匹配电容容量。
■ GR1310 Specification
自动匹配器采用独特的“梯度下降高速调谐算法”，这种高速调谐算法能在接近调谐点时逐渐减缓调节速度，即使在“Q”值很高时也很容易找到匹配点，很快的将输入阻抗调整到50欧姆。超快速调节及微调过程和结果是可以重复的，在有主副射频系统时阻抗一致,匹配时间少于3秒。与GR射频电源配套使用，分自动和手动模式。有本地和远程手动和手动控制微调电容器、限制4000 V内的负载阻抗自动匹配、能预先设定电容器位置可在等离子点火点之前打开、快速和可靠的微调、调谐进程中显示电容器的位置等功能。■ Auto-Matching MH1500 Features
■ MH1500 Specificatio
