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二手及维修600W 13.56M AE Cesar射频电源VM1500匹配器,磁控溅射电源射频电源自

二手及维修600W 13.56M AE Cesar射频电源VM1500匹配器,磁控溅射电源射频电源自

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  • 广东 深圳
  • 射频功放,射频电源,储能,微型逆变器

联系方式

  • 联系人:
    黄先生
  • 职   位:
    销售工程师
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  • 地   址:
    广东 深圳 宝安区 南新路苏豪名厦19B2 QQ:2816004853 skype:erfpower1 阿里旺旺: tb4755642_2012
加工定制:是品牌:AE Cesar型号:CESAR1310 VM1500
产品认证:CE

二手及维修600W 13.56M AE Cesar射频电源VM1500匹配器,磁控溅射电源射频电源自详细介绍

强大而多功能的 Cesar? 射频电源平台可提供非常稳定的射频功率输送性能,以及一个多样化的模式选择,每种模式都具有一套独特的功能(2、4、13.56、27.12和40.68 MHz;0.3至5 kW;拥有多种用户界面和输入选择),从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。 

欢迎上E-RFPOWER网站看其他电源。

高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现***化,从而使您的投资和制程生产力得到化的利用。一个全面而高度灵敏的操作菜单(可在该组件的多功能前面板上找到,并显示在一个大的液晶显示屏上)带来了***的便利性——提高了操作人员的效率,并使培训成本最小化。 

典型应用: 
高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD) 
等离子体增强化学气相沉积(PECVD) 
刻蚀-RIE/ICP 
物***相沉积 
等离子清洗 
优点 
  • ***的制程正常运行时间 

  • 更高的操作简易性和灵活性 

  • 无需定制组件提前期的定制化性能 

  • 长期的使用简易性,节省成本       

    功能 

     

     

     

     

     

     


  • 精簡的流线型设计 

  • 标准的平台包装 

  • 高效率——低发热量 

  • 200和400 VAC 的输入选择 

  • 两个模拟用户端口选择 

  • RS-232、以太网及 Profibus 通讯 

  • 多功能前面板 

  • 便利、全面的操作菜单 

  • CEX(相位同步)操作模式 

  • CESAR? 1310 RF GENERATOR
    Specification 
                      
      
    Frequency 13.560 MHz +/- 0.005% 
    Max output power 1000 W into a 50 ? load 
    Min output power 10 W into a 50 ? load 
    Reflected power limit 200 W 
    Delivered power into mismatch 20% depending on the load impedance 
    Load impedance 50 ? 
    RF connector 50 ?, N-type, female 
    RF power regulation mode P forward, P delivered, or DC selfbias voltage 
    Regulation (of set point) 1.0 or 0.1% of full-rated power, whichever is greater, into a 50 ? load 
    Response time (ms) Consult factory. 
    Turn off/decay time (ms) Consult factory. 
    Harmonics -50 dBc at full-rated power 
    Spurious content -60 dBc max at full-rated power 
    Pulse mode Yes  
    Pulse repetition frequency 1 to 30 kHz 
    Consult factory. 
    Pulse duty cycle 1% to *** 
    Consult factory. 
    Pulse RF envelope rise / fall time (ms) Consult factory. 
    CEX operation mode Yes  
    CEX input signal as required 0 to +10 dbm 
    CEX output signal specifications +3 to +10 dbm 
    CEX connector (50 ?) BNC, female 
    Display LCD graphic display 
    256 x 132 dots , black / white 
      
    Interlocks and Limits 
                      
      
    Reflected power Yes               
    Overtemperature Yes               
    Current limit Yes               
    DC overload Yes               
    RF power limit Yes               
      
    Cooling 
                      
      
    Cooling Air cooling             
    Air cooling requirement 118 m/h3            
      
    AC Power Line 
                      
      
    AC line voltage (1-phase) 110 VAC/230 VAC (187 AC to 253 VAC)       
    AC line frequency 50/60 Hz       
    AC line current (per phase) 6.5 A nominal line, full power       
    AC input power 1490 VA       
    Overcurrent limit (per phase) 10 A to be created by user through fuse or circuit breaker       
    Efficiency line to load 66% at full power, nominal line       
    Power factor 97% to *** at max power       
    AC mains connection IEC 320 at full power       
      
    Physical Specification 
                      
      
    Packaging 19" rack cabinet             
    Mounting 19" rack mounting             
    Weight 19.5 kg (43 lb)             
    Clearance 60 mm (2.36") on each side for air flow into unit             
    Dimensions 88 mm (H) x 483 mm (W) x 500 mm (D)             
    3.46" (H) x 19" (W) x 19.69" (D) 





 

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