| 加工定制：是 | 品牌：SMITCH | 型号：SMITCH GR1310 MH1500 |
| 产品认证：CE | 输入电压(V)：220 | 输出功率(W)：1000 |
| 输出电压(V)：1000 | 频率范围(HZ)：13.56MHZ |
SMITH射频电源及自动匹配器在国外半导体行业已经大批量使用，其成熟精湛的技术水平取得了市场验证及客户广泛认可。目前在国内热销的有1KW/13.56MHz 的射频电源GR1310 和1.5KW/13.56MHz 的自动阻抗匹配器MH1500。可接受功率2KW、3KW、4KW、5KW；频率13.56MHZ 、27.12MHZ 、40.68MHZ 、81.36MHZ 电源和匹配器的客户定制化生产。
作为射频驱动等离子体系统的电源，该系统可应用于半导体工业。包括刻蚀、RIE、平行板 、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统。
■ RF Power GR1310 Features
(1) 采用***的ARM及FPGA逻辑芯片和的A/D转换芯片去闭环控制射频输出功率，使该产品具有***稳定的功率输出，减少了由等离子体阻抗变化引起的增益波动。
(2) 直观快捷简单的面板操作，有主/从电源设置，各种问题诊断说明，超大的LCD显示屏提供多种外接用户端口供客户选择，包含RS232、PROFIBUS、25针模拟用户端口。
(3) 与匹配器进行接口通讯控制，直观的显示实时匹配电容容量。
■ GR1310 Specification
| 尺寸(H*W*D) | 88mm×483mm×500mm (3.46"×19"×19.69") |
| 重量 | 18kg |
| 通风口 | 前面板及左右侧面进气，后面板排气 |
| 机架固定 | 安装在标准U形机架上 |
| 交流输入口 | 标准的IEC 320 连接端口 |
| RF输出 | N型母头 |
| 模拟用户端口 | DB25母头 |
| 通信接口 | PROFIBUS/ RS232 DB9母头 |
| 共激端口IN | BNC母头 |
| 共激端口OUT | BNC母头 |
| 面板显示 | 240mm*64mm液晶平面显示屏 |
| 供电电压 | AC 220V(187V-253V)，50/60Hz |
| 额定功耗 | 1490W |
| 工作效率 | 66%（满功率输出、负载阻抗为50 Ω） |
| 输出阻抗 | 50 Ω |
| 射频功率稳定性 | 1.0% |
| 射频脉冲调制频率 | 1 Hz to 30 kHz |
| 占空比 | 0~*** |
| CEX输入信号 | TTL; 0 to +10 dBm; 50 Ω |
| CEX输出信号 | TTL; +3 to +10 dBm; 50 Ω |
■ Auto-Matching MH1500 Features
自动匹配器采用独特的“梯度下降高速调谐算法”，这种高速调谐算法能在接近调谐点时逐渐减缓调节速度，即使在“Q”值很高时也很容易找到匹配点，很快的将输入阻抗调整到50欧姆。超快速调节及微调过程和结果是可以重复的，在有主副射频系统时阻抗一致, 匹配时间少于3秒。与GR射频电源配套使用，分自动和手动模式。有本地和远程手动和手动控制微调电容器 、限制4000 V内的负载阻抗自动匹配、能预先设定电容器位置可在等离子点火点之前打开、快速和可靠的微调 、调谐进程中显示电容器的位置等功能。
■ MH1500 Specification
| 尺寸(H*W*D) | 446mm x 245mm x 150mm (17.56" x 5.9" x 9.65") |
| 重量 | 7kg |
| 通风口 | 1、顶部进气后面板排气 2、左进气右侧面排气 |
| 机架固定 | 见安装图 |
| 交流输入口 | 标准的IEC 320 连接端口 |
| RF输入 | N型母头 |
| RF输出 | DIN 7/16母头 |
| 通信接口 | DB15 |
| 供电电压 | AC 220V (187V-253V),50/60Hz |
| 额定功耗 | 220W |
| 传输射频源功率 | 1.7KW |
| 可承受负载偏压 | 4000V |
| 自动匹配时间 | 0-3S |
