AE 中频电源 40 kHz 脉冲输出 PEII 低频系列电源 10KW 20KW 30KW详细介绍
| 优点 | 功能 |
恒功率、电压或电流输出 的灵活性与模块性 强大的电弧控制 自动制程保护装置 极宽的祖抗匹配范围 高功率密度
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PEII 低频系列电源的详细信息
PEII 低频系列电源产品描述
PEII 低频系列电源提供40 kHz 脉冲输出，具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率，该系列电源具有极宽的匹配阻抗，无输出变压器等外部组合硬件，特别适用于反应溅射。
优点
●恒功率、电压或电流输出
●的灵活性与模块性
●强大的电弧控制
●自动制程保护装置
●极宽的祖抗匹配范围
●高功率密度
PEII 5000
●输入电压：180-230VAC，3Φ（接地）
●输出频率：40kHz±0.01%
●输出功率：5000W
●输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7
●输出电流：9A RMS nominal in tap 4；16A RMS max in tap 1
●冷却方式：水冷，5-30℃，2gpm
●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×宽×长）
●重量：40.8KG
PEII 10K
●输入电压：180-230VAC，3Φ（接地）
●输出频率：40kHz±0.01%
●输出功率：5000W
●输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7
●输出电流：18 A RMS nominal in tap 4；32A RMS max in tap 1
●冷却方式：水冷，5-30℃，2gpm
●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×宽×长）
●重量：40.8KG
