| 是否进口：否 | 品牌：AE | 型号：cesar136 GR1310 GR1330 |
| 适用范围：工业 | 电源名称：射频电源 | 产品认证：CE |
| 加工定制：是 |
全新及二手及维修
Smitch(史密洽)射频电源&匹配器
产品型号：功率：600W,1000W,3000W ,5000W，10000W,20000W,30000W射频电源
频率：2MHZ 4MH 13.56MHZ 27.12MH 40.68MHZ
■ Product Review
Smitch(史密洽)射頻電源於1998 年研製完畢，射頻電源及自動匹配器在國外半導體行業已經大批量使用，其成熟精湛的技術水平取得了市場驗證及客戶廣泛認可。目前熱銷的有600W/13.56MHZ、1KW/13.56MHz 、3KW/13.56MHz的射頻電源和1 KW /13.56MHZ、1.5KW/13.56MHZ、3KW/13.56MHZ 的自動阻抗匹配器，可接受功率2KW、 5KW、8KW、10KW ；頻率13.56MHZ、27.12MHZ、40.68MHZ、 電源和匹配器的客戶定制化生產。
■ Application
作为射频驱动等离子体系统的电源，该系统可应用于半导体工业。包括刻蚀、RIE、平 行板 、ICP、射频溅射、CVD、PVD 和 CO2 激光器等系统。
■ RF Power GR1310 Features
1) 采用***的 ARM 及 FPGA 逻辑芯片和的 A/D 转换芯片去闭环控制射频输出功率，使该产品具有***稳定的功率输出，减少了由等离子体阻抗变化引起的增益波动。
2) 直观快捷简单的面板操作，有主/从电源设置，各种问题诊断说明，超大的 LCD 显示 屏提供多种外接用户端口供客户选择，包含 RS232、PROFIBUS、25 针模拟用户端口。
3) 与匹配器进行接口通讯控制，直观的显示实时匹配电容容量。
■ GR1310 Specification
RF 输出 | N 型母头 |
模拟用户端口 | DB25 母头 |
通信接口 | PROFIBUS/ RS232 DB9 母头 |
共激端口 IN | BNC 母头 |
共激端口 OUT | BNC 母头 |
面板显示 | 240*64 液晶平面显示屏 |
供电电压 | AC 220V(187V-253V)，50/60Hz |
额定功耗 | 1490W |
工作效率 | 66%（满功率输出、负载阻抗为 50 ?） |
输出阻抗 | 50 ? |
射频功率稳定性 | 1.0% |
射频脉冲调制频率 | 1 Hz to 30 kHz |
占空比 | 0~99% |
CEX 输入信号 | TTL; 0 to +10 dBm; 50 ? |
CEX 输出信号 | TTL; +3 to +10 dBm; 50 ? |
■ Auto-Matching MH1500 Features
自动匹配器采用独特的“梯度下降高速调谐算法”，这种高速调谐算法能在接近调谐点时 逐渐减缓调节速度，即使在“Q”值很高时也很容易找到匹配点，很快的将输入阻抗调整到 50 欧姆。超快速调节及微调过程和结果是可以重复的，在有主副射频系统时阻抗一致, 匹配时 间少于 3 秒。与 GR 射频电源配套使用，分自动和手动模式。有本地和远程手动和手动控制微调电容器 、限制 4000 V 内的负载阻抗自动匹配、能预先设定电容器位置可在等离子点火点之前打开、快速和可靠的微调 、调谐进程中显示电容器的位置等功能。
■ MH1500 Specification
尺寸(H*D*W) | 446mm x 245mm x 150mm (17.56" x 5.9" x 9.65") |
重量 | 7kg |
通风口 | 1、顶部进气后面板排气 2、左进气右侧面排气 |
机架固定 | 见安装图 |
交流输入口 | 标准的 IEC 320 连接端口 |
RF 输入 | N 型母头 |
RF 输出 | DIN 7/16 母头 |
通信接口 | DB15 |
供电电压 | AC 220V (187V-253V),50/60Hz |
额定功耗 | 220W |
传输射频源功率 | 1.7KW |
可承受负载偏压 | 4000V |
自动匹配时间 | 0-3S |
■ 射频电源选型
1 | 射频电源 | 功率 | 频率 | 25针模拟控制端口 | RS-232控制端口 | PROFIBUS控制端口 | 订货号 | 单位 | 用量 |
600W | 13.56MHZ | √ | √ |
| 61300047 | 台 | 选用一款 | ||
600W | 13.56MHZ | √ |
| √ | 61300049 | 台 | |||
1000W | 13.56MHZ | √ | √ |
| 61300053 | 台 | |||
1000W | 13.56MHZ | √ |
| √ | 61300055 | 台 | |||
3000W | 13.56MHZ | √ |
| √ | 61300122 | 台 | |||
2 | 匹配器 |
|
| 风冷 | 风冷 | 风冷+水冷 |
|
| 选用一款 |
600W | 13.56MHZ | √ |
|
| 69001214 | 台 | |||
1000W | 13.56MHZ | √ |
|
| 69001214 | 台 | |||
1500W | 13.56MHZ | √ |
| √ | 69001215 | 台 | |||
3000W | 13.56MHZ | √ |
| √ | 69000002 | 台 | |||
3 | 电缆 | 配件1 RF电缆 | 69200106XX CABLE ASSY, COAX, RG-213/RG-393, 3.75M, N TO N | 条 | 三款必配 | ||||
配件2 RF电缆 | 69200161 CABLE ASY, COAX, RG-393, 4.0M, HN TO 7/16 (匹配器到电极的RF电缆) | 条 | |||||||
配件3 通信电缆 | 69200101XX CABLE 15 PIN DSB SHD 26AWG M-M 10FT MOLD (匹配器与电源之间的通信电缆) | 条 | |||||||
E-mail: sales@e-rfpower.com
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腾讯QQ: 2816004853
阿里旺旺: tb4755642_2012
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