加工定制:是 | 品牌:SMITCH | 型号:1310 136 |
产品适用范围:学校,工厂,研究所, |
目前许多公司及学校的射频磁控溅射设备,使用了国产品牌的射频电源和匹配器,使用后都出现了许多问题,最麻烦的是射频对真空计及其它设备的干扰,真空计的显示混乱,其他电源及PLC控制乱跳,设备无法使用,现在许多公司改用德国品牌SMITCH,装上后一切问题消失,沈阳科仪的工程师找到问题很高兴,现在更换电源的学校有武汉汽车学院。。。企业有深圳亚太兴。。。
■ Product Review
SMITCH射频电源&匹配器
SMITCH 射频电源于 1998 年研制完毕,射频电源及自动匹配器在国外半导体行业已经大批量使用,其成熟精湛的技术水平取得了市场验证及客户广泛认可。目前在国内热销 的有 1KW/13.56MHz 的射频电源 GR1310 和 1.5KW/13.56MHz 的自动阻抗匹配器 MH1500。可接受功率 2KW、3KW、4KW、5KW;频率 13.56MHZ、27.12MHZ、40.68MHZ、81.36MHZ 电源和匹配器的客户定制化生产。
■ Application
作为射频驱动等离子体系统的电源,该系统可应用于半导体工业。包括刻蚀、RIE、平 行板 、ICP、射频溅射、CVD、PVD 和 CO2 激光器等系统。
■ RF Power GR1310 Features
1) 采用***的 ARM 及 FPGA 逻辑芯片和的 A/D 转换芯片去闭环控制射频输出功率,使该产品具有***稳定的功率输出,减少了由等离子体阻抗变化引起的增益波动。
2) 直观快捷简单的面板操作,有主/从电源设置,各种问题诊断说明,超大的 LCD 显示 屏提供多种外接用户端口供客户选择,包含 RS232、PROFIBUS、25 针模拟用户端口。
3) 与匹配器进行接口通讯控制,直观的显示实时匹配电容容量。
■ GR1310 Specification
尺寸(H*W*D) | 88mm×483mm×500mm (3.46"×19"×19.69") |
重量 | 18kg |
通风口 | 前面板及左右侧面进气,后面板排气 |
机架固定 | 安装在标准 U 形机架上 |
交流输入口 | 标准的 IEC 320 连接端口 |
RF 输出 | N 型母头 |
模拟用户端口 | DB25 母头 |
通信接口 | PROFIBUS/ RS232 DB9 母头 |
共激端口 IN | BNC 母头 |
共激端口 OUT | BNC 母头 |
面板显示 | 240*64 液晶平面显示屏 |
供电电压 | AC 220V(187V-253V),50/60Hz |
额定功耗 | 1490W |
工作效率 | 66%(满功率输出、负载阻抗为 50 ?) |
输出阻抗 | 50 ? |
射频功率稳定性 | 1.0% |
射频脉冲调制频率 | 1 Hz to 30 kHz |
占空比 | 0~*** |
CEX 输入信号 | TTL; 0 to +10 dBm; 50 ? |
CEX 输出信号 | TTL; +3 to +10 dBm; 50 ? |
■ Auto-Matching MH1500 Features
自动匹配器采用独特的“梯度下降高速调谐算法”,这种高速调谐算法能在接近调谐点时 逐渐减缓调节速度,即使在“Q”值很高时也很容易找到匹配点,很快的将输入阻抗调整到 50 欧姆。超快速调节及微调过程和结果是可以重复的,在有主副射频系统时阻抗一致, 匹配时间少于 3 秒。与 GR 射频电源配套使用,分自动和手动模式。有本地和远程手动和手动控制
微调电容器 、限制 4000 V 内的负载阻抗自动匹配、能预先设定电容器位置可在等离子点火
点之前打开、快速和可靠的微调 、调谐进程中显示电容器的位置等功能。
■ MH1500 Specification
尺寸(H*D*W) | 446mm x 245mm x 150mm (17.56" x 5.9" x 9.65") |
重量 | 7kg |
通风口 | 1、顶部进气后面板排气 2、左进气右侧面排气 |
机架固定 | 见安装图 |
交流输入口 | 标准的 IEC 320 连接端口 |
RF 输入 | N 型母头 |
RF 输出 | DIN 7/16 母头 |
通信接口 | DB15 |
供电电压 | AC 220V (187V-253V),50/60Hz |
额定功耗 | 220W |
传输射频源功率 | 1.7KW |
可承受负载偏压 | 4000V |
自动匹配时间 | 0-3S |