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供应磁控射频干扰导致仪表示数不正常,改用SMITCH射频电源,仪器正常

供应磁控射频干扰导致仪表示数不正常,改用SMITCH射频电源,仪器正常

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    广东 深圳 宝安区 南新路苏豪名厦19B2 QQ:2816004853 skype:erfpower1 阿里旺旺: tb4755642_2012
加工定制:是品牌:SMITCH型号:1310 136
产品适用范围:学校,工厂,研究所,

供应磁控射频干扰导致仪表示数不正常,改用SMITCH射频电源,仪器正常详细介绍

目前许多公司及学校的射频磁控溅射设备,使用了国产品牌的射频电源和匹配器,使用后都出现了许多问题,最麻烦的是射频对真空计及其它设备的干扰,真空计的显示混乱,其他电源及PLC控制乱跳,设备无法使用,现在许多公司改用德国品牌SMITCH,装上后一切问题消失,沈阳科仪的工程师找到问题很高兴,现在更换电源的学校有武汉汽车学院。。。企业有深圳亚太兴。。。

■ Product Review

SMITCH射频电源&匹配器

SMITCH 射频电源于 1998 年研制完毕,射频电源及自动匹配器在国外半导体行业已经大批量使用其成熟精湛的技术水平取得了市场验证及客户广泛认可目前在国内热销 有 1KW/13.56MHz 的射频电源 GR1310 和 1.5KW/13.56MHz 的自动阻抗匹配器 MH1500可接受功率 2KW3KW4KW5KW频率 13.56MHZ27.12MHZ40.68MHZ、81.36MHZ 电源和匹配器的客户定制化生产。

 Application

作为射频驱动等离子体系统的电源,该系统可应用于半导体工业。包括刻蚀、RIE、平 行板 ICP、射频溅射、CVDPVD 和 CO2 激光器等系统。

■ RF Power GR1310 Features

1)  采用***的 ARM  FPGA 逻辑芯片和的 A/D 转换芯片去闭环控制射频输出功率,使该产品具有***稳定的功率输出,减少了由等离子体阻抗变化引起的增益波动。

2)  直观快捷简单的面板操作,有主/从电源设置,各种问题诊断说明,超大的 LCD 显示 屏提供多种外接用户端口供客户选择包含 RS232PROFIBUS25 针模拟用户端口。

3)  与匹配器进行接口通讯控制,直观的显示实时匹配电容容量。

■ GR1310 Specification

 

尺寸(H*W*D)

88mm×483mm×500mm (3.46"×19"×19.69")

重量

18kg

通风口

前面板及左右侧面进气,后面板排气

机架固定

安装在标准 形机架上

交流输入口

标准的 IEC 320  连接端口


 

RF 输出

型母头

模拟用户端口

DB25 母头

通信接口

PROFIBUS/ RS232 DB9 母头

共激端口 IN

BNC 母头

共激端口 OUT

BNC 母头

面板显示

240*64 液晶平面显示屏

供电电压

AC 220V(187V-253V)50/60Hz

额定功耗

1490W

工作效率

66%(满功率输出、负载阻抗为 50 ?

输出阻抗

50 ?

射频功率稳定性

1.0%

射频脉冲调制频率

1 Hz to 30 kHz

占空比

0~***

CEX 输入信号

TTL; 0 to +10 dBm; 50 ?

CEX 输出信号

TTL; +3 to +10 dBm; 50 ?

 

 Auto-Matching MH1500 Features

自动匹配器采用独特的梯度下降高速调谐算法,这种高速调谐算法能在接近调谐点时 逐渐减缓调节速度即使在“Q”值很高时也很容易找到匹配点很快的将输入阻抗调整到 50 欧姆超快速调节及微调过程和结果是可以重复的在有主副射频系统时阻抗一致匹配时间少于 秒。与 GR 射频电源配套使用分自动和手动模式有本地和远程手动和手动控制

微调电容器 限制 4000 V 内的负载阻抗自动匹配能预先设定电容器位置可在等离子点火

点之前打开、快速和可靠的微调 、调谐进程中显示电容器的位置等功能。

■ MH1500 Specification

 

尺寸(H*D*W)

446mm x 245mm x 150mm (17.56" x 5.9" x 9.65")

重量

7kg

通风口

1、顶部进气后面板排气     2、左进气右侧面排气

机架固定

见安装图

交流输入口

标准的 IEC 320  连接端口

RF 输入

型母头

RF 输出

DIN 7/16 母头

通信接口

DB15

供电电压

AC 220V (187V-253V),50/60Hz

额定功耗

220W

传输射频源功率

1.7KW

可承受负载偏压

4000V

自动匹配时间

0-3S

 

 

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